數(shù)字化精密測(cè)量技術(shù)是數(shù)字化制造技術(shù)中的關(guān)鍵技術(shù)之一。開(kāi)發(fā)亞微米、納米級(jí)高精度測(cè)量?jī)x器，提高環(huán)境適應(yīng)能力，增強(qiáng)魯棒性，使精密測(cè)量裝備進(jìn)入生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)，集成到加工機(jī)床和制造系統(tǒng)，形成先進(jìn)的數(shù)字化閉環(huán)制造系統(tǒng)，是當(dāng)今精密測(cè)量技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì)。
美國(guó)FARO技術(shù)公司的FaroARM系列便攜式三坐標(biāo)測(cè)量臂在工業(yè)界首次實(shí)現(xiàn)測(cè)量臂與激光掃描頭的完美結(jié)合，在同一坐標(biāo)系下實(shí)現(xiàn)非接觸式快速掃描和接觸式測(cè)量。特點(diǎn)：非接觸式靈活快速掃描，獲取曲線曲面的點(diǎn)云數(shù)據(jù)，點(diǎn)云無(wú)分層；接觸式測(cè)量，把握關(guān)鍵特征尺寸與輪廓的精度；非接觸式與接觸式測(cè)量在同一坐標(biāo)系下完美結(jié)合，掃描沒(méi)有任何分層；掃描頭與測(cè)量臂及測(cè)量軟件同為FARO公司產(chǎn)品，技術(shù)完全共享，服務(wù)更加方便。在實(shí)際應(yīng)用中為客戶大大縮短設(shè)計(jì)生產(chǎn)制造周期，降低成本，質(zhì)量控制可以在內(nèi)部完成，自動(dòng)生成的報(bào)告適用于網(wǎng)絡(luò)應(yīng)用，從而改善了各生產(chǎn)職能部門(mén)之間及實(shí)際不同地點(diǎn)間的溝通；提高了準(zhǔn)確性，做產(chǎn)品檢驗(yàn)時(shí)用戶通常通過(guò)5到10個(gè)點(diǎn)來(lái)定義曲面，使得用戶可以檢驗(yàn)由數(shù)以萬(wàn)計(jì)的點(diǎn)云定義的曲面質(zhì)量；自動(dòng)化的SPC可對(duì)多個(gè)樣品進(jìn)行自動(dòng)化的統(tǒng)計(jì)過(guò)程控制。
美國(guó)CIMCORE公司推出了配備有先進(jìn)激光掃描測(cè)量系統(tǒng)的關(guān)節(jié)臂測(cè)量機(jī)。材料采用碳纖維，INFINITE系列還具有無(wú)線通訊功能。用于反求工程時(shí)，不僅測(cè)量速度快，而且可實(shí)現(xiàn)測(cè)量過(guò)程的實(shí)時(shí)顯示和補(bǔ)漏測(cè)量數(shù)據(jù)的無(wú)縫拼接。該儀器可用于三坐標(biāo)測(cè)量、三維造型、產(chǎn)品測(cè)繪、反求工程、現(xiàn)場(chǎng)測(cè)量以及模具設(shè)計(jì)制造等涉及到設(shè)計(jì)、制造、過(guò)程檢測(cè)、在線檢測(cè)以及產(chǎn)品最終檢測(cè)等測(cè)量工作。
瑞士TESA公司的Scan系列用2個(gè)線陣CCD組件，通過(guò)工件的回轉(zhuǎn)和軸向移動(dòng)對(duì)工件進(jìn)行投影掃描，可實(shí)現(xiàn)對(duì)軸類(lèi)零件位置誤差和形狀誤差的精確檢測(cè)、對(duì)截面形狀和輪廓度的評(píng)估比較以及統(tǒng)計(jì)質(zhì)量分析，還能對(duì)零件的局部（如過(guò)渡曲線、微小溝槽等）進(jìn)行放大測(cè)量。對(duì)螺紋、蝸桿、絲桿等能夠進(jìn)行全參數(shù)精度的精確測(cè)量。
德國(guó)SCHNEIDER的WMM系列軸類(lèi)及工具測(cè)量?jī)x操作簡(jiǎn)單、測(cè)量速度高，特別適用于車(chē)間檢查站。儀器采用高分辨力的 Matrix攝像頭，可以快速獲取測(cè)量數(shù)據(jù)。儀器數(shù)顯分辨力為0.0001mm，長(zhǎng)度測(cè)量不確定度為E2=（2.0+L/200）μm（L單位為mm）。
數(shù)控機(jī)床的精度和性能檢測(cè)領(lǐng)域中，國(guó)外著名廠商Renishaw、API及HP等公司生產(chǎn)的激光干涉儀測(cè)量系統(tǒng)和球桿儀等在數(shù)控機(jī)床的幾何精度和運(yùn)動(dòng)精度的檢測(cè)和監(jiān)控中，無(wú)論在機(jī)床制造廠還是機(jī)床使用廠，都得到了廣泛的應(yīng)用。Renishaw公司的激光干涉測(cè)量系統(tǒng)，配備了高精度、高靈敏度的溫度、氣壓、濕度傳感器及EC10環(huán)境補(bǔ)償裝置，在工作環(huán)境下測(cè)量精度得到進(jìn)一步提高；API公司的Rmtea六維激光測(cè)量系統(tǒng)可同時(shí)測(cè)量6個(gè)數(shù)控機(jī)床精度項(xiàng)目的誤差，縮短了檢測(cè)時(shí)間，為生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)數(shù)控機(jī)床的檢測(cè)和診斷提供了更為快速高效的精密測(cè)量手段。成都工具研究所的MJS系列雙頻激光干涉儀，分辨力0.01μm，測(cè)量軟件覆蓋了我國(guó)和世界主要工業(yè)國(guó)的數(shù)控機(jī)床精度標(biāo)準(zhǔn)評(píng)定方法和指標(biāo)，動(dòng)態(tài)采樣功能可用于自動(dòng)補(bǔ)償。
在非接觸掃描測(cè)量，三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)方面LEITZ公司的精密三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)用于測(cè)量大型齒輪。瑞典HEXAGON集團(tuán)所屬DEA公司的PRIMA C1系列水平臂測(cè)量機(jī)配備有光學(xué)/激光式非接觸掃描傳感器，可適應(yīng)不同測(cè)量環(huán)境和任務(wù)的要求。德國(guó)ZEISS公司的PROR Premium坐標(biāo)測(cè)量機(jī)配備有EagleEye導(dǎo)航系統(tǒng)和可控測(cè)座可實(shí)施高速精密測(cè)量。
美國(guó)光動(dòng)（Optodyne）公司近年推出的基于體對(duì)角線的激光矢量測(cè)量技術(shù)是快速測(cè)量和補(bǔ)償數(shù)控機(jī)床、加工中心三維空間位置誤差的一個(gè)新途徑。該技術(shù)由美國(guó)光動(dòng)公司發(fā)明并獲得專(zhuān)利，它遵循了ASME B5.54。我國(guó)西安愛(ài)德華測(cè)量機(jī)公司自主開(kāi)發(fā)的柔性關(guān)節(jié)臂測(cè)量機(jī)的樣機(jī)。
德國(guó)帝目機(jī)械設(shè)備有限公司（teamtechnik）提供的測(cè)試系統(tǒng)解決方案。基于設(shè)備功能組成部分的模塊化。獨(dú)立于所測(cè)試的零件，功能元件被標(biāo)準(zhǔn)化為模塊，并在應(yīng)用過(guò)程中始終保持一致。設(shè)備以被測(cè)試的零件為中心，這樣經(jīng)過(guò)試用檢驗(yàn)的技術(shù)就能夠不斷的積累和提高。