分辨率(resolution)
　　光柵光譜儀的分辨率R是分開兩條臨近譜線能力的度量，根據(jù)瑞利判據(jù)為：
　　R==λ/Δλ
　　光柵光譜儀有實際意義的定義是測量單個譜線的半高寬(FWHM)。實際上，分辨率依賴于光柵的分辨本領(lǐng)、系統(tǒng)的有效焦長、設(shè)定的狹縫寬度、系統(tǒng)的光學(xué)像差以及其它參數(shù)等。
R∝M.F/W
M--光柵線數(shù)　　F--譜儀焦距　　W--狹縫寬度
　　色散
　　光柵光譜儀的色散決定其分開波長的能力。光譜儀的倒線色散可計算得到：沿單色儀的焦平面改變距離χ引起波長λ的變化，即：
　　Δλ/Δχ=dcosβ/nF
　　這里d、β、F分別是光柵刻槽的間距、衍射角和系統(tǒng)的有效焦距，n為衍射級次。由方程可見，倒線色散不是常數(shù)，它隨波長變化。在所用波長范圍內(nèi)，改變化可能超過2倍。根據(jù)國家標(biāo)準(zhǔn)，在本樣本中，用1200 l/mm光柵色散的中間值（典型的為435.8nm）時的倒線色散。
帶寬
　　帶寬是忽略光學(xué)像差、衍射、掃描方法、探測器像素寬度、狹縫高度和照明均勻性等，在給定波長，從光譜儀輸出的波長寬度。它是倒線色散和狹縫寬度的乘積。例如，單色儀狹縫為0.2mm，光柵倒線色散為2.7nm/mm，則帶寬為2.7*0.2=0.54nm。
波長精度、重復(fù)性和準(zhǔn)確度
　　波長精度是光譜儀確定波長的刻度等級，單位為nm。通常，波長精度隨波長變化，本樣本中為最壞的情況。
　　波長重復(fù)性是光譜儀設(shè)定一個波長后，改變設(shè)定，再返回原波長的能力。這體現(xiàn)了波長驅(qū)動機械和整個儀器的穩(wěn)定性。卓立漢光的光譜儀的波長驅(qū)動和機械穩(wěn)定性極佳，其重復(fù)性超過了波長精度。
波長準(zhǔn)確度是光譜儀設(shè)定波長與實際波長的差別。每臺單色儀都要在很多波長檢查波長準(zhǔn)確度。
F/#
　　F/#定義為光譜儀的直徑與焦距的比值。這是對光譜儀接收角的度量，這是調(diào)整單色儀與光源及探測器耦合的重要參數(shù)。當(dāng)F/#匹配時，可用上光譜儀的全部孔徑。但是大多數(shù)單色儀應(yīng)用長方形光學(xué)部件。這里F/#定義為光譜儀的等效直徑與焦距的比值，長方形光學(xué)件的等效直徑是具有相同面積的園的直徑。