集成電路的主要分支介紹
集成電路是指組成電路的有源器件、無(wú)源元件及其互連一起制作在半導(dǎo)體襯底上或絕緣基片上,形成結(jié)構(gòu)上緊密聯(lián)系的、內(nèi)部相關(guān)的事例電子電路。它可分為半導(dǎo)體集成電路、膜集成電路、混合集成電路三個(gè)主要分支。
1、半 ..
集成電路是指組成電路的有源器件、無(wú)源元件及其互連一起制作在半導(dǎo)體襯底上或絕緣基片上,形成結(jié)構(gòu)上緊密聯(lián)系的、內(nèi)部相關(guān)的事例電子電路。它可分為半導(dǎo)體集成電路、膜集成電路、混合集成電路三個(gè)主要分支。
1、半導(dǎo)體集成電路 是指用外延、光刻、擴(kuò)散以及離子注入等半導(dǎo)體工藝術(shù)將電子元器件一起制作在半導(dǎo)體襯底上,并用PN結(jié)或介質(zhì)生長(zhǎng)法進(jìn)行隔離,用金屬蒸發(fā)進(jìn)行互連所構(gòu)成的集成電路。 2、膜集成電路 膜集成電路即指構(gòu)成電路的電子原器件,以膜的形式沉積在絕緣基片上所形成的全膜化電路。它又分為厚膜集成電路和薄膜集成電路兩類。 厚膜集成電路 厚膜集成電路是指采用絲網(wǎng)漏、高溫?zé)Y(jié)成膜、等離子噴涂等厚膜技術(shù),將組成電路的電子元器件(導(dǎo)電帶、電阻、電容、電感、二極管、晶體管等)以膜的形式制作在絕緣基片上所構(gòu)成的集成電路。因?yàn)楹衲ぴ骷哪ず褚话銥閹孜⒚字翈资⒚,與薄膜元器件相比,厚度較厚,因些稱為厚膜集成電路。 薄膜集成電路 薄膜集成電路是指用真空蒸發(fā)、濺射、光刻為基本工藝的薄膜技術(shù),將組成電路的電子元器件,以膜的形式制作在絕緣基片上所構(gòu)成的集成電路。由于薄膜元器件的膜厚一般為1微米以下,相比之下較薄,故稱為薄膜集成電路。 3、混合集成電路 混合集成電路就是采用混合技術(shù)制造的集成電路;旌霞呻娐酚挚梢苑譃閱纹旌霞呻娐贰⒑衲せ旌霞呻娐、薄膜混合集成電路、微波混合集成電路。 |
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