在多數(shù)情況下，光學(xué)測頭與被測物體沒有機(jī)械接觸。三坐標(biāo)測量機(jī)采用非接觸光學(xué)測頭測量工件，有如下突出優(yōu)點(diǎn)： 

1.沒有測量力，可以用于測各種柔軟和易變形的物體，也沒有摩擦； 

2.由于不接觸，三坐標(biāo)測量機(jī)可以很快的速度對物體進(jìn)行掃描測量，測量速度與采樣頻率都較高； 

3.光斑可以做的很小，可以探測一般機(jī)械測頭難以探測的部位，也不必進(jìn)行測端半徑補(bǔ)償； 

4.不少光學(xué)測頭具有大的量程，如十毫米乃至數(shù)十毫米，這是一般接觸測頭難以達(dá)到的； 

5.同時(shí)探測的信息豐富； 

用光學(xué)測頭測量物體，并不是測量物體本身的幾何形狀，而是所“ 看”到的物體的光學(xué)反差結(jié)構(gòu)。除物體的尺寸特性外，物體的輻射特性對測量結(jié)果也有較大影響。有一系列因素，如照明情況、表面狀態(tài)反射情況、陰影、擋光、對譜線吸收情況等，都會(huì)引入附加誤差。從而光學(xué)測頭不能簡單地以測量不確定度或最大允許誤差來表征，而要在非常確定的工作條件下，來討論測量不確定度。