摘要：Fizeau干涉儀由于具有參考光與測試光共光程的優(yōu)點成為多數(shù)干涉儀采用的結(jié)構(gòu)形式，對于干涉儀的結(jié)構(gòu)及其影響因素在理論上已進行了較廣泛的研究。但如何對Fizeau干涉儀進行仿真是干涉儀檢測所面·臨的問題。本文首先簡要介紹Fizeau干涉儀及相位解包裹的基本原理并利用Matlab編寫了基于矩形域的解包裹程序。然后利用Zemax光學設(shè)計軟件建立起Fizeau干涉儀通用模型，利用四步相移法對干涉儀的面形檢測進行仿真并利用編寫的解包裹程序計算出待測面的面形。仿真面形檢測結(jié)果與真實情況一致表明Fizeau干涉儀通用模型能較好的對實際干涉儀面形檢測進行仿真。

0.引言

為提高檢測的精度干涉檢測技術(shù)被越來越多的應用于檢測領(lǐng)域。Fizeau干涉儀由于具有共光路的特點被廣泛采用于干涉檢測中。自斐素在1862年提出并應用Fizeau干涉儀以來，F(xiàn)izeau干涉儀已經(jīng)有很大的發(fā)展。很多文獻已經(jīng)對Fizeau干涉儀的結(jié)構(gòu)及其影響因素已進行了較廣泛的研究。ChunshengHuang與R.Jozwicki對Fizeau干涉儀誤差傳遞模型進行了分析，A.E.Lowman等人建立了干涉儀零檢測的模型，J.H.Bruning等人對影響干涉儀精度的因素進行了詳細的分析，PingZhou也對干涉儀測量過程中各種噪聲對干涉儀的影響進行了詳細的分析。但在Fizeau干涉儀的通用模型建立及面形檢測仿真方面卻少有相關(guān)文獻報道。

本文利用Zemax光學設(shè)計軟件建立起Fizeau干涉儀通用模型并對模型的仿真質(zhì)量進行分析，通過四步相移法及編寫的解包裹程序獲得待測面的面形。設(shè)計結(jié)果表明Fizeau干涉儀模型能較好的對實際光路干涉情況進行仿真。

1.Fizeau干涉儀基本原理 

圖1是Fizeau干涉儀原理光路圖。He-Ne激光器輸出的單頻激光被透鏡會聚在位于準直物鏡上。從準直物鏡出射的平行光束，一部分光到達參考面 后被反射作為參考光束；另一部分光穿過標準參考 鏡后至測試面再反射作為測試光束。參考光束和測試光束再通過標準物鏡在其焦平面上形成干涉圖。

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