1.引 言

大功率半導(dǎo)體激光器具有體積小、重量輕、效率高、壽命長(zhǎng)、功率大、高效率等諸多優(yōu)點(diǎn)，在國(guó)民經(jīng)濟(jì)的許多領(lǐng)域有重要應(yīng)用。它已成為工業(yè)、軍事國(guó)防等行業(yè)的固體激光器必需的泵浦光源，廣泛應(yīng)用于激光測(cè)距、核爆模擬、激光雷達(dá)傳輸、材料加工、微處理、熱處理、打標(biāo)定位等。大功率激光器還在醫(yī)學(xué)上得到廣泛應(yīng)用，如手術(shù)治療腫 瘤、皮膚治療、牙科治療、光鎮(zhèn)痛和光針灸、光學(xué)層析造影（OCT ）等。

2.發(fā)展現(xiàn)狀

半導(dǎo)體大功率激光器陣列的發(fā)展越來越快。其峰值功率不斷上升，連續(xù)狀態(tài)的激光器產(chǎn)品，線陣列的輸出功率也已達(dá)到了50W[1]，國(guó)外已出現(xiàn)有連續(xù)工作線陣列輸出功率達(dá)到 198W 的報(bào)道[2]。工作于準(zhǔn)連續(xù)狀態(tài)的激光器產(chǎn)品，占空比2℅的線陣列輸出功率達(dá)100W，最高的研究報(bào)道已達(dá)到200W以上[3]。占空比已做到 2 0 ℅，其輸出功率可以做到 70W。在轉(zhuǎn)換效率上，已經(jīng)有了電光轉(zhuǎn)換效率達(dá)到 60% 以上[2]，工作壽命達(dá)到 20000 小時(shí)的報(bào)道。并且，器件可以在更高的溫度下工作，而功率、波長(zhǎng)等參數(shù)不發(fā)生嚴(yán)重的變化。Coherent公司的商用化產(chǎn)品具有很高的性能指標(biāo)，表1和表2[1]分別給出了該公司器件的工作性能指標(biāo)。

據(jù)Laser Focus World[4]報(bào)道，DPSSL即半導(dǎo)體泵浦固體激光器系統(tǒng)是大功率激光器的最大應(yīng)用。2001 年 DPSSL 行業(yè)的收入比 2000 年增長(zhǎng)了18%，達(dá)到了 100 百萬美元。該報(bào)道預(yù)測(cè) 2002 年DPSSL 行業(yè)的增長(zhǎng)會(huì)達(dá)到 23% ，對(duì)于泵浦大型的DPSSL 系統(tǒng)（功率為千瓦級(jí)）的堆積激光器面陣列，增長(zhǎng)更為顯著，達(dá)到了 38%。由于半導(dǎo)體激光器陣列越來越顯示出其特有的優(yōu)勢(shì)，即光束質(zhì)量高、成本低、可靠性高，千瓦級(jí)的半導(dǎo)體激光器陣列大有代替氙燈泵浦的固體激光器，進(jìn)入工業(yè)材料處理市場(chǎng)的趨勢(shì)。同時(shí)，2001 年大功率激光器陣列在軍事上的應(yīng)用也有很大增長(zhǎng)。

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