上海昊量光電設(shè)備有限公司
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激光材料加工中的光束指向穩(wěn)定和自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)
使用簡(jiǎn)單機(jī)械結(jié)構(gòu)的光束指向穩(wěn)定系統(tǒng)Aligna,不僅降低了設(shè)備成本,同時(shí)又顯著提高了加工精度,并且這一系統(tǒng)還為整體光路的提供全自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)。
乍一看,這樣一個(gè)主動(dòng)的穩(wěn)定系統(tǒng)比被動(dòng)的機(jī)械結(jié)構(gòu)穩(wěn)定顯得更加復(fù)雜。不過(guò)再仔細(xì)想想:被動(dòng)穩(wěn)定需要相當(dāng)多的努力——空間溫度變化或高功率線性模組散熱產(chǎn)生的熱漂移必須避免或屏蔽,如果可能的話,也要通過(guò)機(jī)械結(jié)構(gòu)進(jìn)行補(bǔ)償。高動(dòng)態(tài)運(yùn)動(dòng)需要堅(jiān)固沉重的龍門(mén)架和機(jī)械底座(通常由混凝土或花崗巖建造),這反過(guò)來(lái)又需要更多的電力,從而導(dǎo)致更多的散熱,當(dāng)然也會(huì)增加更多的成本。 無(wú)論以何種形式進(jìn)行激光束位置的快速測(cè)量和精確糾正,設(shè)備都可以被構(gòu)造的更小,更輕,更簡(jiǎn)單,而且機(jī)械結(jié)構(gòu)會(huì)更便宜。這時(shí)由內(nèi)部或外部散熱的溫度變化產(chǎn)生的熱漂移就變得無(wú)關(guān)緊要了。 為了描述Aligna系統(tǒng)給激光材料加工帶來(lái)的巨大革新,昊量光電的工程師舉了一個(gè)簡(jiǎn)單的例子:在日常生活的其它領(lǐng)域,例如CD或DVD播放機(jī),在亞微米范圍的主動(dòng)指向穩(wěn)定是自我理解的。即使它們?cè)趷毫拥沫h(huán)境下工作(如汽車(chē)中或慢跑),這種主動(dòng)穩(wěn)定結(jié)構(gòu)也不過(guò)花費(fèi)幾歐元。而與它們相比,激光材料加工的主動(dòng)位置穩(wěn)定應(yīng)用仍然處在類似于光學(xué)存儲(chǔ)介質(zhì)占用大面積光學(xué)平臺(tái)時(shí)的早期階段。 在反饋控制系統(tǒng)中,穩(wěn)定角度XY和位置XY這4個(gè)自由度并不輕松,因?yàn)樗鼈兌际菑?qiáng)耦合的。移動(dòng)反射鏡架的任何一個(gè)千分絲杠(或致動(dòng)器),都會(huì)同時(shí)影響角度和位置,嚴(yán)格區(qū)分發(fā)現(xiàn)X和Y也是耦合的。通過(guò)恰當(dāng)?shù)恼换ㄍㄟ^(guò)使用4x4 "Cross-Link Matrix"),可以完全獨(dú)立的控制4個(gè)自由度,這使得反饋回路更快也更精確。 在工業(yè)環(huán)境中,光束指向穩(wěn)定系統(tǒng)Aligna可以輕而易舉的自主學(xué)習(xí)所有的關(guān)聯(lián)參數(shù)。這一切都是通過(guò)致動(dòng)器的全自動(dòng)掃描以及4D PSD的測(cè)量結(jié)果的擬合轉(zhuǎn)換來(lái)進(jìn)行的。因此,不需要客戶擁有專業(yè)知識(shí)也無(wú)需手動(dòng)調(diào)整就可以將系統(tǒng)安裝在不同的光學(xué)裝置上。沿著光路的所有擴(kuò)束鏡,縮束鏡,透鏡或其它光學(xué)裝置都不會(huì)干擾到學(xué)習(xí)程序。 昊量光電的這套Aligna系統(tǒng)將帶寬達(dá)到20KHz的高速高精度壓電陶瓷和大沖程線性致動(dòng)器結(jié)合使用來(lái)驅(qū)動(dòng)兩個(gè)或更多快速放射鏡架。這種組合不僅克服了分辨率和沖程之間的矛盾,而且與壓電陶瓷摩擦傳動(dòng)相比,它的小幅度與大幅度運(yùn)動(dòng)的速度更高,而且也沒(méi)有使用壽命限制。 這種更小更輕的機(jī)械結(jié)構(gòu)不僅可以增加指向的穩(wěn)定性,而且也能夠執(zhí)行全光路的徹底的自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)。通過(guò)緊挨著或放置在快速反射鏡后面的附加的AIM探測(cè)器的幫助,系統(tǒng)可以持續(xù)掃描第一個(gè)反射鏡,直到第二個(gè)反射鏡被找到,然后持續(xù)掃描第二個(gè)直到第三個(gè)反射鏡被找到,依次類推,最終光束打到PSD 4D探測(cè)器上。不但不需要專門(mén)技術(shù)人員戴著護(hù)目眼鏡和十字準(zhǔn)線進(jìn)入到機(jī)器中進(jìn)行曠日持久的冒險(xiǎn)的手動(dòng)光束對(duì)準(zhǔn),而且即使機(jī)器在封閉的狀態(tài)下也可以執(zhí)行這一過(guò)程。此外,只要有需要,這種自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)過(guò)程就可以隨時(shí)進(jìn)行,所以客戶可以隨時(shí)迅速的更換反射鏡甚至激光器,且不會(huì)對(duì)光路準(zhǔn)直產(chǎn)生任何影響。 結(jié)論: 在激光材料加工設(shè)備中,光束指向穩(wěn)定系統(tǒng)使用更小,更輕,更快和更便宜的機(jī)械結(jié)構(gòu),能夠主動(dòng)高動(dòng)態(tài)補(bǔ)償漂移,空氣波動(dòng)和動(dòng)態(tài)變形。不僅如此,客戶不需要曠日持久的手動(dòng)調(diào)節(jié),可以在數(shù)秒之內(nèi)更換光路元件甚至激光器。
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