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  • 消除平場掃描鏡F-Theta后反射點的不利影響

    作者:南京光研 來源:投稿 時間:2017-10-11 15:17 閱讀:4354 [投稿]
    激光掃描系統(tǒng)是一種將時間信息轉(zhuǎn)變?yōu)榭捎涗浛諉栃畔⒌南到y(tǒng)。它使某種信息通過光調(diào)制器對激光束調(diào)制后,經(jīng)光束掃描器和F-Theta激光聚焦鏡頭再接收形成一維或二維掃描圖像。

    為滿足式(1-1)的線性掃描關(guān)系,同時校正F-Theta鏡頭的像差,往往需要多個透鏡合理布局;激光在透鏡表面的后反射點(圖3-圖6)能量高度集中,隨著工業(yè)使用中激光功率的不斷提升,如果后反射點聚焦在XY振鏡片上,會燒蝕振鏡片的反射膜層,造成系統(tǒng)透過率的大幅降低;如果后反射點聚焦在掃描鏡內(nèi)部鏡片上(圖6),造成明顯的熱透鏡效應(yīng),該透鏡折射率隨著能量的積聚發(fā)生變化,直接改變掃描鏡的工作距離,反映為標(biāo)記光斑變大、標(biāo)記顏色變淺甚至無法標(biāo)記。


    圖3.后反射點示意1


    圖4.后反射點示意2

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