在本文中，我們將進(jìn)一步了解網(wǎng)格矢高數(shù)據(jù)以及網(wǎng)格相位數(shù)據(jù)的輸入。

介紹

在本例中我們使用ZYGO公司的干涉儀提供的數(shù)據(jù)做為示例，ZYGO公司干涉儀生成的數(shù)據(jù)文件格式為.zxgrd文件，在OpticStudio中我們需要將該文件格式轉(zhuǎn)換為.DAT文件，并將此文件保存在Zemax根目錄下“DocumentZemax/ObjectsGrid Files”中。

應(yīng)用實(shí)例

下圖為數(shù)據(jù)文件開頭部分的截圖，我們可以看到數(shù)據(jù)格式和上周文章中提到的Grid Sag數(shù)據(jù)格式相同。XY方向的數(shù)據(jù)點(diǎn)數(shù)分別為732個(gè)，又因?yàn)閿?shù)據(jù)點(diǎn)間距為0.01344，可以得到該數(shù)據(jù)文件的直徑為9.72mm。其中文件中的第一行末位標(biāo)志（flag）為0，代表數(shù)據(jù)單位為mm。

需要注意的是，如果測(cè)量數(shù)據(jù)保存的是波前數(shù)據(jù)的話，則我們需要把這份數(shù)據(jù)文件當(dāng)做相位數(shù)據(jù)來處理。OpticStudio的網(wǎng)格相位(Grid Sag)的單位是弧度。因此測(cè)量數(shù)據(jù)需要進(jìn)行換算，換算公式如下：

Zemax單位(弧度) = ZYGO測(cè)量單位(mm) x 2π / 測(cè)量波長(λ)

在本例提供的數(shù)據(jù)文件中，測(cè)量波長為632.8nm，則：

Zemax單位(弧度) = ZYGO測(cè)量單位(mm) x 2π / 0.0006328 = 9924 x (ZYGO測(cè)量單位)

現(xiàn)在打開OpticStudio，將系統(tǒng)入瞳直徑設(shè)為9.5mm，其路徑為系統(tǒng)選項(xiàng)-系統(tǒng)孔徑，選擇孔徑類型為入瞳直徑并輸入孔徑值為9.5，并勾選無焦像空間(Afocal Image Space)選項(xiàng)，如下圖所示。然后在系統(tǒng)選項(xiàng)中設(shè)置系統(tǒng)波長為632.8nm。