關(guān)于光刻機(jī)的那些事

作者：佚名來源：光行天下整理時(shí)間：2018-05-17 17:48 閱讀：11401 [投稿]

光刻機(jī)代表著精密儀器的最高水平之一。

近期美中貿(mào)易戰(zhàn)，芯片的重要性已經(jīng)很清楚了，為了維持互聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)的繁榮，我國每年要花兩千億美元在芯片上，超過總進(jìn)口的百分之十。（數(shù)據(jù)來源：國家統(tǒng)計(jì)局《中華人民共和國2017年國民經(jīng)濟(jì)和社會(huì)發(fā)展統(tǒng)計(jì)公報(bào)》）而要制造一顆芯片，需要經(jīng)過5000多道工序，其中光刻機(jī)，便是最重要的一環(huán)之一。不夸張地說，光刻機(jī)代表著精密儀器的最高水平之一。

和傳統(tǒng)的人手、機(jī)床等原始工具不同，光刻機(jī)是使用光作為自己的“刀”來對(duì)結(jié)構(gòu)進(jìn)行加工的。光刻機(jī)的這把刀，可謂是既鋒利又精密。就量產(chǎn)精度而言，第四代光刻機(jī)可以達(dá)到22納米，第五代光刻機(jī)可以達(dá)到5納米，而實(shí)驗(yàn)室里甚至可以實(shí)現(xiàn)1納米！我們以22納米為例，普通人的頭發(fā)直徑約80微米，是22納米的3600多倍。完全可以圍繞一根頭發(fā)刻一副北京地圖出來。

光刻過程的示意圖

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