如何在MTF計算中考慮探測器的影響
MTF是用來評價成像系統(tǒng)成像質量最常用的方法之一,但我們往往會忽略掉探測器分辨的影響。這篇文章講述了如何綜合考慮探測器像素尺寸和位置偏移對MTF測量的影響。
偽彩圖的截面分布如上圖所示。我們在200微米的區(qū)域內設置了十組柵格條紋圖案:其對應空間頻率為50 cycles/mm。通過確定截面分布的相對極大值和極小值來評估MTF。 為了減小邊緣效應的影響,分析參數(shù)需要在整個截面分布上,至少設置5個完整的像素。通過尋找強度數(shù)據(jù)中第二個及其與最后一個峰值之間的所有極值點來計算MTF。通過只計算兩個峰值之間的數(shù)據(jù)來減小邊緣效應的影響。 通過公式(Imax-Imin)/(Imax+Imin)來計算MTF。最后,由于我們采用的是柵格靶標,因此MTF的結果為方波調制而非正弦調制。 在空間頻率50 cycles/mm處FFT MTF和部分相干圖像分析(近似為50 cycles/mm)得到的MTF均為0.65左右,兩種分析結果基本一致。由于探測器像素尺寸小于光學系統(tǒng)5微米的均方根光斑尺寸(RMS spot size)以及3微米的艾里斑半徑(Airy disk radius),因此這些結果是符合預期的。在這一情況下,光學系統(tǒng)限制了整個系統(tǒng)的分辨率,而非探測器。 然而如果我們在部分相干圖像分析中,使用100x100個5微米寬的像素陣列。我們得到的MTF為0.419: |
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