長春光機所4.03米大口徑碳化硅反射鏡成功通過驗收
中科院長春光機所研制的4.03米大口徑碳化硅反射鏡成功通過驗收。
在鏡面材料缺陷改性方面,采用等離子輔助低溫物理氣相沉積(PIAD)方法,在碳化硅反射鏡表面鍍制Si改性層,然后進行面形精加工后,最終在4米反射鏡表面鍍制反射增強膜,使其反射率最終達到光學系統(tǒng)要求。 不改性直接拋光的表面與改性后拋光表面的顯微照片對比 自主研發(fā)裝備,全面掌握核心技術(shù) 僅僅掌握4米反射鏡制造工藝,并不算自主掌握核心技術(shù)。與加工工藝同等重要的,還有完成4米反射鏡制造所需全套制造裝備的研發(fā)。圍繞反射鏡研制流程,項目完成了三個子系統(tǒng)、十余套加工檢測設備研制,全部自主掌握知識產(chǎn)權(quán)。其中4米量級反應燒結(jié)爐、FSGJ-4型非球面數(shù)控光學加工中心、4米量級大型磁控濺射鍍膜機三套核心裝備達到國內(nèi)領先水平。 4米量級反應燒結(jié)爐
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