我國雙折射雙頻激光干涉儀實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)
清華大學(xué)精密儀器系張書練教授課題組進(jìn)行原理研究并由北京鐳測科技有限公司開發(fā)生產(chǎn)的雙折射雙頻激光干涉儀實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)。
 從清華大學(xué)精密儀器系獲悉，該系張書練教授課題組進(jìn)行原理研究并由北京鐳測科技有限公司開發(fā)生產(chǎn)的雙折射雙頻激光干涉儀實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)。 雙頻（兩頻率）激光干涉儀是科學(xué)研究、光刻機(jī)、數(shù)控機(jī)床、航空航天、艦船等行業(yè)都離不開的光學(xué)尺子，用于測量零部件的尺寸，角度，位置，直線性，也是檢定各類數(shù)控機(jī)床、激光加工機(jī)床以及光刻機(jī)臺的精度，進(jìn)行誤差補(bǔ)償?shù)幕緝x器。 張書練介紹，雙頻激光器是雙頻激光干涉儀的核心部件。國外干涉儀廠家都是自制專用激光器，稱為塞曼雙頻激光器，不對外供應(yīng)。此前我國的雙頻激光干涉儀只能進(jìn)口普通激光器，從中選出可用的，淘汰率高，性能上不去，導(dǎo)致雙頻激光干涉儀國產(chǎn)化困難。 據(jù)介紹，此次清華大學(xué)精密儀器系發(fā)明的雙折射原理的雙頻激光器比傳統(tǒng)的塞曼雙頻激光器的激光功率高一倍、頻率間隔大一倍或兩三倍、沒有兩個頻率之間耦合串混。分辨率達(dá)到1納米(十億分之一米)，線性測量長度范圍0到70米，非線性誤差小于1納米，測量速度超過2米。 張書練指出，雙折射雙頻激光器的使用帶動了干涉儀整機(jī)的光機(jī)電系統(tǒng)創(chuàng)新設(shè)計，使雙折射雙頻激光干涉儀具有便攜，方便，魯棒等優(yōu)良性能。 |
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