9月2日消息，荷蘭ASML的新一代極紫外（EUV）光刻機(jī)有公共汽車大小，造價1.5億美元。其前所未有的精度可以讓芯片上的元件尺寸在未來幾年繼續(xù)縮小。在位于美國康涅狄格州郊區(qū)的一間大型潔凈室里，工程師們已經(jīng)開始為一臺機(jī)器制造關(guān)鍵部件，這臺機(jī)器有望讓芯片制造行業(yè)沿著摩爾定律至少再走上10年時間。

這臺極紫外光刻機(jī)是由荷蘭阿斯麥公司制造的。阿斯麥于2017年推出世界上第一臺量產(chǎn)的極紫外光刻機(jī)，在芯片制造領(lǐng)域發(fā)揮著至關(guān)重要的作用，已經(jīng)被用于制造iPhone手機(jī)芯片以及人工智能處理器等最先進(jìn)的芯片。阿斯麥正在康涅狄格州的威爾頓制造下一代極紫外光刻機(jī)的部分組件，其使用新技術(shù)來最小化紫外線波長，從而盡可能縮小所制造的芯片元件尺寸，最終提高整個芯片的性能。

新一代極紫外光刻機(jī)大約有一輛公共汽車那么大，造價1.5億美元。整個機(jī)器包含10萬個部件和2公里長的電纜。每臺機(jī)器發(fā)貨需要40個集裝箱、3架貨機(jī)或者20輛卡車。只有諸如臺積電、三星和英特爾等少數(shù)公司能買得起這種機(jī)器。

“這真是一臺不可思議的機(jī)器，”麻省理工學(xué)院研究新型晶體管架構(gòu)的教授Jesús del Alamo說。“這絕對是一款革命性的產(chǎn)品，是一項(xiàng)突破，將給芯片行業(yè)帶來新的生命�！� 

在康涅狄格州的工廠里，工程師們將一塊巨大鋁材雕刻成框架，最終讓光罩以納米級的精度在其間移動，反射極紫外光束。這些光束利用幾面鏡子來回反射，以驚人精度反復(fù)修飾打磨，在硅片上蝕刻出只有幾十個原子大小的特征圖案。

造好的組件將于2021年底運(yùn)往荷蘭維荷芬，然后在2022年初安裝到新一代極紫外光刻機(jī)的第一臺原型機(jī)中。英特爾可能會使用這種新機(jī)器制造出第一批芯片。英特爾表示，預(yù)計(jì)將在2023年下線第一批芯片。憑借比以往任何機(jī)器所蝕刻的圖案尺寸更小，讓每個芯片都有數(shù)百億個元件，這臺機(jī)器在未來幾年所生產(chǎn)的芯片應(yīng)該是史上處理速度最快、效率最高的。