9月2日消息，荷蘭ASML的新一代極紫外（EUV）光刻機有公共汽車大小，造價1.5億美元。其前所未有的精度可以讓芯片上的元件尺寸在未來幾年繼續(xù)縮小。在位于美國康涅狄格州郊區(qū)的一間大型潔凈室里，工程師們已經(jīng)開始為一臺機器制造關(guān)鍵部件，這臺機器有望讓芯片制造行業(yè)沿著摩爾定律至少再走上10年時間。

這臺極紫外光刻機是由荷蘭阿斯麥公司制造的。阿斯麥于2017年推出世界上第一臺量產(chǎn)的極紫外光刻機，在芯片制造領(lǐng)域發(fā)揮著至關(guān)重要的作用，已經(jīng)被用于制造iPhone手機芯片以及人工智能處理器等最先進(jìn)的芯片。阿斯麥正在康涅狄格州的威爾頓制造下一代極紫外光刻機的部分組件，其使用新技術(shù)來最小化紫外線波長，從而盡可能縮小所制造的芯片元件尺寸，最終提高整個芯片的性能。

新一代極紫外光刻機大約有一輛公共汽車那么大，造價1.5億美元。整個機器包含10萬個部件和2公里長的電纜。每臺機器發(fā)貨需要40個集裝箱、3架貨機或者20輛卡車。只有諸如臺積電、三星和英特爾等少數(shù)公司能買得起這種機器。

“這真是一臺不可思議的機器，”麻省理工學(xué)院研究新型晶體管架構(gòu)的教授Jesús del Alamo說�！斑@絕對是一款革命性的產(chǎn)品，是一項突破，將給芯片行業(yè)帶來新的生命�！� 

在康涅狄格州的工廠里，工程師們將一塊巨大鋁材雕刻成框架，最終讓光罩以納米級的精度在其間移動，反射極紫外光束。這些光束利用幾面鏡子來回反射，以驚人精度反復(fù)修飾打磨，在硅片上蝕刻出只有幾十個原子大小的特征圖案。

造好的組件將于2021年底運往荷蘭維荷芬，然后在2022年初安裝到新一代極紫外光刻機的第一臺原型機中。英特爾可能會使用這種新機器制造出第一批芯片。英特爾表示，預(yù)計將在2023年下線第一批芯片。憑借比以往任何機器所蝕刻的圖案尺寸更小，讓每個芯片都有數(shù)百億個元件，這臺機器在未來幾年所生產(chǎn)的芯片應(yīng)該是史上處理速度最快、效率最高的。