飛秒激光技術(shù)近年來(lái)發(fā)生了轉(zhuǎn)變是輕描淡寫的，它不僅最大限度地減少了技術(shù)方面的巨大進(jìn)步，而且尤其是在可訪問性方面的改進(jìn)。復(fù)雜的桌面擠滿了用戶構(gòu)建的組件和無(wú)數(shù)需要日常關(guān)注的離散光學(xué)器件，已經(jīng)讓位于為滿足飛秒應(yīng)用領(lǐng)域快速變化的世界而量身定制的單盒系統(tǒng)。這種轉(zhuǎn)變的早期例子是用于多光子顯微鏡的可調(diào)諧激光器，緊隨其后的是強(qiáng)大的工業(yè)一體式激光器，用于支持從支架切割到 OLED 加工的微加工應(yīng)用。

飛秒激光脈沖可以從兩種材料之間的界面或任何非中心對(duì)稱的材料中產(chǎn)生少量的二次諧波光。產(chǎn)生的二次諧波光信號(hào)可以無(wú)損檢測(cè)和成像半導(dǎo)體晶圓表面上下的特征，例如結(jié)構(gòu)缺陷、薄膜質(zhì)量，甚至微量金屬污染。

如今，這一發(fā)展趨勢(shì)的最新示例包括一系列功率范圍小于 5W 的鞋盒尺寸密封激光器，在關(guān)鍵工作點(diǎn)具有固定波長(zhǎng)，包括 780、920 和 1064 nm。這些用戶友好型激光器進(jìn)一步提供了與應(yīng)用相關(guān)的參數(shù)，例如短脈沖寬度和高光束質(zhì)量、優(yōu)化最終脈沖寬度的預(yù)補(bǔ)償以及輸出功率的快速調(diào)制和控制。

新一代超快激光器經(jīng)過專門優(yōu)化，可支持終端市場(chǎng)的用戶需求，例如增材制造、醫(yī)學(xué)、半導(dǎo)體計(jì)量和應(yīng)用研究。

納米制造

激光可用于許多增材制造 (AM) 工藝，包括金屬的激光燒結(jié)和聚合物的立體光刻。這些過程中的每一個(gè)都提供了一種無(wú)需掩�；蚰＞呒纯蓜�(chuàng)建復(fù)雜而獨(dú)特的結(jié)構(gòu)的方法。增材制造對(duì)于小規(guī)模生產(chǎn)應(yīng)用特別有價(jià)值，例如零件的快速原型制作或個(gè)性化醫(yī)療植入物。

一種新興的 AM 方法是一種稱為雙光子聚合的立體光刻技術(shù)，由于多種原因，它正在迅速引起人們的興趣。首先，它能夠比任何其他 AM 方法具有更高的空間分辨率。其次，它是一種三維自由成型工藝，因此它不受激光燒結(jié)或單光子立體光刻的加工限制的限制，其中零件必須從下向上或自上而下逐層創(chuàng)建。