南科大在激光超分辨率納米制造領域取得系列進展
南方科技大學在激光微納米制造領域高水平期刊上發(fā)表系列論文，內(nèi)容涉及激光亞波長圖案化納米制造、激光誘導周期性納米光柵制造、線形脈沖激光跨大尺度微納復合制造、耐久性納米錐的激光摻雜增強等離子體刻蝕制造等。
 近日，南方科技大學機械與能源工程系助理教授徐少林團隊圍繞“激光超分辨率納米制造”主題，在Nature Communications, Advanced Optical Materials, Laser & Photonics Reviews, Nano Letters, ACS Applied Materials & Interfaces等激光微納米制造領域高水平期刊上發(fā)表系列論文，內(nèi)容涉及激光亞波長圖案化納米制造、激光誘導周期性納米光柵制造、線形脈沖激光跨大尺度微納復合制造、耐久性納米錐的激光摻雜增強等離子體刻蝕制造等。  在激光亞波長圖案化納米制造方面，大面積無拼接超衍射極限圖案化納米制造在半導體及光學微納器件等領域具有至關重要的作用，開發(fā)低成本、高效率制備技術及配套設備對于上述領域的高質(zhì)量發(fā)展具有極其重要的意義。 研究人員利用準二元相位掩模對光束進行偏振過濾，結合偏振與相位優(yōu)化，得到了具有亞波長圖案化波前的超快激光脈沖，使用快速掃描形成脈沖分離進行周期性改性/燒蝕，在大氣環(huán)境下實現(xiàn)了晶圓級表面圖形化微納結構的均勻高效制造。制備的圖案化結構在設計上高度自由可控，且具有亞波長圖形分辨率（520 nm波長實現(xiàn)了300 nm的圖形分辨率），無拼接現(xiàn)象。研究人員設計并加工了超表面吸收器器件，在中紅外波段（3-7微米）實現(xiàn)了高達98%的單峰和雙峰吸收率。上述開發(fā)的高效激光亞波長圖案化加工方法具有普適性，且能夠適用于任意薄膜材料的圖案化加工。相關研究結果以“Sub-wavelength patterned pulse laser lithography for efficient fabrication of large-areametasurfaces”為題，發(fā)表在Nature Communications上，以“Large-Scale Laser Nanopatterning of Multiband Tunable Mid-Infrared Metasurface Absorber”為題，發(fā)表在Advanced Optical Materials上。  圖1. 新型亞波長圖案化整形脈沖激光光刻技術 |
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