如圖1所示，自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)由波前探測(cè)器、波前控制器、波前校正器組成。波前探測(cè)器，主要是探測(cè)光的波前畸變，其常用的類型有Hartmann-Shack 傳感器、剪切干涉儀和曲率傳感器等。本文僅以常用的Hartmann-Shack 傳感器為例進(jìn)行介紹，該傳感器由透鏡陣列和CCD相機(jī)組成，通過透鏡陣列對(duì)波前進(jìn)行分割采樣,每個(gè)子孔徑范圍內(nèi)的波前傾斜將使單元透鏡的聚焦光斑產(chǎn)生橫向漂移,測(cè)量光斑中心在兩個(gè)方向上相對(duì)于用平行光標(biāo)定的基準(zhǔn)位置的漂移量,從而求出各子孔徑范圍內(nèi)的波前在兩個(gè)方向上的平均斜率，如圖3所示。

圖3.Hartmann-Shack 傳感器原理

波前控制器對(duì)于自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)來說就如同計(jì)算機(jī)的CPU，通過波前探測(cè)器得到的波前斜率，經(jīng)過一系列算法解算出波前相位，然后通過控制系統(tǒng)反饋給波前校正器改變變形鏡的各子模塊來補(bǔ)償畸變波前，提高圖像精度。所以，自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)通常也簡(jiǎn)單地稱之為變形鏡。而波前校正器其實(shí)就是在變形鏡上安裝多個(gè)壓電陶瓷制成的驅(qū)動(dòng)器，用來改變不同子孔徑的姿勢(shì)，從而改變反射光束的方向，達(dá)到校正波前的目的。

圖4.變形鏡驅(qū)動(dòng)與哈特曼子孔徑的布局關(guān)系