任何一個(gè)完整的測(cè)量過程，都包括被測(cè)對(duì)象、計(jì)量單位、測(cè)量方法和測(cè)量精度等四個(gè)方面，通常將它們統(tǒng)稱為測(cè)量過程四要素。被測(cè)對(duì)象的結(jié)構(gòu)特征和測(cè)量要求在很大程度上決定了測(cè)量方法。測(cè)量方法是指測(cè)量時(shí)所采用的計(jì)量器具和測(cè)量條件的綜合。測(cè)量精度是指測(cè)量結(jié)果與其真值的一致程度。

被測(cè)對(duì)象：包括長度、角度、形狀、相對(duì)位置和表面粗糙度等。就被測(cè)零件來說，應(yīng)考慮到它的大小、重量、批量、精度要求、形狀復(fù)雜程度和材料等因素對(duì)測(cè)量的影響。
計(jì)量單位：是指用以定量表示同類量值的標(biāo)準(zhǔn)量。我國頒布的法定計(jì)量單位中，幾何量中長度的基本單位為米（m），平面角的角度單位為弧度（rad)及度、分、秒。機(jī)械制造中常用毫米作為計(jì)量單位，在精密測(cè)量中采用微米（um)甚至納米來計(jì)量。

測(cè)量方法：測(cè)量方法是指根據(jù)給定的測(cè)量原理，在實(shí)際測(cè)量中運(yùn)用該測(cè)量原理和實(shí)際操作，以獲得測(cè)量數(shù)據(jù)和測(cè)量結(jié)果。

測(cè)量精度：是指被測(cè)幾何量的測(cè)量結(jié)果與其真值相一致的程度。要測(cè)量過程中，由于各種因素的影響，不可避免地會(huì)產(chǎn)生或大或小的測(cè)量誤差。測(cè)量誤差小，則測(cè)量精度高，測(cè)量誤差大，則測(cè)量精度低。