空間相位與光場分布的一一對應(yīng)賦予了該方法可行性。本文中，研究者發(fā)現(xiàn)二元相位周期與激光通量共同影響加工結(jié)構(gòu)的尺寸與間隙，并實現(xiàn)了亞波長尺度光子晶體結(jié)構(gòu)單元制備（圖1右）�；�于上述規(guī)律，調(diào)諧二元相位的灰度及最終相位的疊加方式，可定制激光通量分布可控且具有三維空間結(jié)構(gòu)的多光束光場（圖2上），并實現(xiàn)對應(yīng)的復(fù)雜結(jié)構(gòu)光子晶體的加工（圖2中）。拉曼光譜與X射線光電子能譜測試則表明該加工方法得到的結(jié)構(gòu)單元與非重疊狀態(tài)下單光束逐點(diǎn)掃描結(jié)果相同（圖2下），具有較高的穩(wěn)定性與可靠性。借助于該方法制備了長周期與亞波長光柵結(jié)構(gòu)，實驗測試結(jié)果與理論計算結(jié)果一致，進(jìn)一步驗證該方法加工能力。

圖2.基于納米尺度飛秒激光多光束光刻的光子晶體結(jié)構(gòu)加工。（上）激光通量分布可控的三維空間多光束光場；（中）具有復(fù)雜空間結(jié)構(gòu)的光子晶體制備；（下）拉曼光譜與X射線光電子能譜測試。

相比于現(xiàn)有技術(shù)，該方法具有如下優(yōu)勢：

1）操作簡單且成本較低，通過空間相位設(shè)計，無需針對不同目標(biāo)結(jié)構(gòu)設(shè)計加工不同光學(xué)元器件；

2）精確的結(jié)構(gòu)尺寸與間隙控制，可實現(xiàn)納米尺度的光子晶體單元加工；

3）三維復(fù)雜空間結(jié)構(gòu)加工能力，可在晶體內(nèi)部實現(xiàn)三維光子晶體結(jié)構(gòu)制備。

該工作為晶體材料內(nèi)部納米尺度光子晶體結(jié)構(gòu)的高精度可控加工提供了一種全新途徑，在光傳輸與控制等領(lǐng)域具有應(yīng)用前景。

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