三坐標(biāo)光柵測(cè)量系統(tǒng)用透明雨不透明間隔相等的線紋制成，原理是全反射或漫反射，對(duì)應(yīng)光柵測(cè)量系統(tǒng)。

一、光柵測(cè)量系統(tǒng)的檢測(cè)原理

光柵上刻有等間隔排列又能透過光線的細(xì)小的狹縫，如果把這樣兩個(gè)光柵一個(gè)固定在三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)上（標(biāo)尺光柵），一個(gè)可以隨工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)(稱為指示光柵)，并使兩者相互錯(cuò)開一個(gè)角度θ疊合在一起，在“標(biāo)尺光柵”與“指示光柵”的細(xì)小狹縫相交區(qū)域，透射光可以全部通過，便形成“亮區(qū)”；而在非相交部分，由于透射光被遮擋而形成“暗區(qū)”。這樣，在光柵的垂直方向上就可以形成明暗相間的條紋，這種條紋被人們稱為“莫爾條紋”。 

光柵副（標(biāo)尺光柵與指示光柵）沒相對(duì)移動(dòng)一個(gè)柵距，莫爾條紋移動(dòng)一個(gè)節(jié)距。莫爾條紋是由數(shù)百條光柵刻線共同形成的，因此它對(duì)光柵的刻線誤差有平均作用，提高了位移檢測(cè)精度。

光柵測(cè)量系統(tǒng)在三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)中是應(yīng)用最廣的一種測(cè)量系統(tǒng)。這是因?yàn)樗�有許多優(yōu)點(diǎn)，如光柵尺體積小，制造容易，安裝比較方便，測(cè)量精度較高，所得到的光電信號(hào)容易細(xì)分。但在三坐標(biāo)保養(yǎng)維護(hù)時(shí)光柵尺怕油污和灰塵，一定要注意光柵尺的保養(yǎng)時(shí)要注意車間要無塵，不要用手隨意摸光柵尺。

二、三坐標(biāo)光柵測(cè)量系統(tǒng)種類

1.三坐標(biāo)光柵測(cè)量系統(tǒng)的種類，在玻璃的表面上制作透明與不透明間隔相等的線紋，可制成透射光柵；

2.在金屬的鏡面上制成全反射或漫反射并間隔相等的線紋，稱作反射光柵；

3.也可以把線紋做成具有一定衍射角度的光柵。