雙軸激光掃描系統(tǒng)的基本原理介紹
一束激光被兩片掃描振鏡反射,并且通過一片聚焦鏡。振鏡片在一個galvo-掃描器馬達的帶動下高速的來回延軸旋轉(zhuǎn)。在大多數(shù)情況下,最高偏轉(zhuǎn)角鏡是+12.5°(+10°往往是一個較安全范圍)入射角不能偏于45°。
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一束激光被兩片掃描振鏡反射,并且通過一片聚焦鏡。振鏡片在一個galvo-掃描器馬達的帶動下高速的來回延軸旋轉(zhuǎn)。在大多數(shù)情況下,最高偏轉(zhuǎn)角鏡是+12.5°(+10°往往是一個較安全范圍)入射角不能偏于45°。
在設(shè)計雙軸掃描器時,我們的目標是: 能夠達到理想的掃描范圍. 能夠達到最高的速度. 能夠達到最小的焦斑. 使得成本能夠最低. 一些要考慮到的限制因素: 光束質(zhì)量的因素q (q=m2). 掃描角度的限制因 素. 光束能量減少的因素. 掃描器通光口徑的影響因素. 掃描器的掃描范圍 光束的掃描范圍較超過某個角度q,等于兩倍的振鏡反射角。因此,在x和y兩個方向上掃描的范圍可能是q=±20°。(最大的掃描范圍應(yīng)該是q=±25°)。在x和y軸上,實際的掃描面積應(yīng)該是2ftanq。 近似值發(fā)生的原因: 通常在鏡片的設(shè)計中,會考慮到它的失真現(xiàn)象。所以對于q來說掃描的位置是對稱的,而不是tanq。 在雙軸上掃描時,會出現(xiàn)幾何失真的現(xiàn)象,這個是與鏡頭的屬性不相 干的。 焦斑尺寸 焦斑尺寸下限d (1/e2 亮度直徑) 相對于激光光束直徑‘d’ (1/e2)是d = 13.5qf/d mm例如:一束tem00(q=1) 的直徑是13.5mm(1/e2)用一個焦距100mm的理想聚焦鏡片,焦距出來的點的直徑是100mm(帶入一個實際數(shù)值q=1.5, 焦斑尺寸應(yīng)該是150um.) 從上面的方程式可以看出,光的速度和光學畸變可導致聚焦點大小都大于最低衍射值。 大尺寸范圍需要使用長焦距鏡頭。相反的,這會導致更大的聚焦點,除非把光束直徑大小, 振鏡大小,和鏡頭直徑全部加大。 在大多數(shù)的掃描結(jié)果里,焦斑的尺寸大小通常是以平均值的形式給出的。 割 光現(xiàn)象 掃描器的口徑往往是有限的,比如說直徑是‘a(chǎn) ’mm。 |
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