提要:石英晶體振蕩監(jiān)控光學(xué)薄膜厚度是直接監(jiān)控光學(xué)薄膜物理厚度的方法,與T作波段無(wú)關(guān),設(shè)置簡(jiǎn)單,各種厚度皆可控制.易于實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制,將會(huì)越來(lái)越廣泛地應(yīng)用在光學(xué)薄膜厚度監(jiān)控中。本文首先介紹了石英晶體監(jiān)控膜厚儀監(jiān)控光學(xué)薄膜厚度的原理,然后討論了石英晶體監(jiān)控儀的發(fā)展和晶振片的穩(wěn)定性。 moZm0`WR
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關(guān)鍵詞:石英晶體振蕩法 薄膜厚度 原理