提要：石英晶體振蕩監(jiān)控光學(xué)薄膜厚度是直接監(jiān)控光學(xué)薄膜物理厚度的方法，與T作波段無關(guān)，設(shè)置簡單，各種厚度皆可控制．易于實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制，將會(huì)越來越廣泛地應(yīng)用在光學(xué)薄膜厚度監(jiān)控中。本文首先介紹了石英晶體監(jiān)控膜厚儀監(jiān)控光學(xué)薄膜厚度的原理，然后討論了石英晶體監(jiān)控儀的發(fā)展和晶振片的穩(wěn)定性。 ~i^,Z&X:  
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關(guān)鍵詞：石英晶體振蕩法 薄膜厚度 原理

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謝謝，最近正在使用，還不是很了解。

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用石英晶體監(jiān)控膜厚儀真是太方便了，謝謝樓主分享。

好文章，謝謝共享，不過石英膜厚控制還算是間接控制

呵呵,我們正準(zhǔn)備用呢

多謝了！！