微機械技術(shù)在工業(yè)、農(nóng)業(yè)、醫(yī)療、軍事等領(lǐng)域的應用日益廣泛。目前，微機械的加工方法有：由硅平面技術(shù)衍生的微蝕刻加工，由特種加工衍生的微細特種加工，由切削加工衍生的微細切削加工。 nwzyL`kF  
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微型機電系統(tǒng)技術(shù)衍生于微電子技術(shù)，由于這種歷史原因，硅微細加工在微機械制造中占據(jù)主要地位，硅微細加工具有批量制作、預組裝及容易與微電子電路集成的技術(shù)特點，適合于微型傳感器的制作，但成型結(jié)構(gòu)形狀有限，不利于微致動器的制作。 "d/uyS$6  
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可以進行微細加工的特種加工方法主要有電火花加工、電化學加工、超聲加工、激光加工、離子束加工、電子束加工等。這些特種加工方法有的設(shè)備昂貴、對環(huán)境要求較高，有的加工速度偏低。對于加工三維實體結(jié)構(gòu)的零件來說，單獨使用特種加工方法并沒有優(yōu)勢可言。 uy<<m"cA;  
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可以用來進行微細加工的切削方法有：微細車削、微細銑削、微細鉆削、微細磨削、微沖壓等。 D6"d\Fm<  
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本文將介紹微機械制造中的切削加工方法及設(shè)備的研究進展情況。 BR_fOIDc  
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1 微細車削 .$ YYN/+W  
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日本通產(chǎn)省工業(yè)技術(shù)院機械工程實驗室（MEL）于1996年開發(fā)了世界上第一臺微型化的機床——微型車床，長32、寬25mm、高30.5mm，重量為100g（圖1 為該車床與硬幣的比較）；主軸電機額定功率1.5W，轉(zhuǎn)速1000r/min。用該機床切削黃銅，沿進給方向的表面粗糙度值為Rz1.5µm，加工工件的圓度為2.5µm，最小外圓直徑為60µm。切削試驗中的功率消耗僅為普通車床的1/500。 zbGZ\pz  
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