空間光學(xué)遙感器用變形鏡可以校正光學(xué)系統(tǒng)像差,具有廣泛的應(yīng)用前景。由于空間光學(xué)遙感器所處空間環(huán)境惡劣,并需經(jīng)受發(fā)射沖擊振動(dòng)等力學(xué)環(huán)境,因此空間光學(xué)遙感器變形鏡需滿足微重力變形,熱環(huán)境 變化,沖擊振動(dòng)等方面要求;同時(shí),由于變形鏡促動(dòng)器較多,結(jié)構(gòu)非靜定,由于變形鏡各部分材料線脹 系數(shù)(CTE)不匹配,在熱環(huán)境變化條件下熱變形嚴(yán)重。本文研究了促動(dòng)器數(shù)量為25,口徑為Φ200 mm的 空間光學(xué)遙感器變形鏡,提出了一種消熱柔性結(jié)構(gòu)取代原有殷鋼材料的柔性結(jié)構(gòu),通過同材料過渡和柔 性結(jié)構(gòu)消除不同材料間熱脹影響,并對(duì)該結(jié)構(gòu)進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì)。設(shè)計(jì)結(jié)果表明該設(shè)計(jì)在溫度變化±8℃工況 下,鏡面變形PV/RMS為47.26 nm/9.31 nm面形提高約17.8%,柔性結(jié)構(gòu)質(zhì)量減少約58.5%。微重力變 形PV/RMS為20.56 nm/3.50 nm,滿足 微重力變形要求;一階頻率為1832 Hz,動(dòng)態(tài)性能滿足設(shè)計(jì)要求。 消熱結(jié)構(gòu)工藝合理,滿足空間變形鏡設(shè)計(jì)要求。