趁最近有空,把我手頭的一些小知識(shí)和大家分享一下。
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電子槍的知識(shí)(電氣)
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電子槍有兩個(gè)主要電源:(由兩個(gè)高壓接線柱接進(jìn)) 1<hj3 一個(gè)給燈絲通上電流,加熱燈絲提供熱電子;一個(gè)給燈絲加上高壓,把電子打出去。
T*,kBJ 燈絲電流越高,電子就越多;燈絲電壓越高,電子速度越快。
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dTM 這兩個(gè)都能提高蒸發(fā)速率,但一般說(shuō)來(lái),我們固定住電壓,只調(diào)節(jié)電流。
0\G`AO;D [Z2:3*5r. 電子槍的三個(gè)副電源:(由低壓接線柱接進(jìn),一般是六根線) `v*UY 偏轉(zhuǎn)電源,是提供一個(gè)磁場(chǎng),使電子槍發(fā)射的熱電子進(jìn)行偏轉(zhuǎn),打到藥品上。
A;e[-5@ 調(diào)整XP,YP就是調(diào)節(jié)的偏轉(zhuǎn)磁場(chǎng)。
]~my<3j}or l_ycYD$ZA 掃描電源,是提供一個(gè)磁場(chǎng),使電子槍發(fā)射的熱電子不斷的在藥品上進(jìn)行掃描, 掃描范圍大的
光斑就大,掃描范圍縮小光斑就小。對(duì)應(yīng)的就是XS和YS。
|meo 電子槍的最遠(yuǎn)的那對(duì)磁極棒就是控制Y方向掃描的, 所以拆掉這個(gè)磁極棒,Y方向上就沒(méi)有寬度了,看起來(lái)光斑就是一條線。
l3Vw?f k+xj 2)d7 電子槍的其他電路: SHw%u~[hu 電子束打到藥品上以后,還會(huì)反彈起來(lái)。反彈的電子(二次電子)如果不加約束, 就會(huì)跑到
鏡片上去,使鏡片帶電。
"%O,*t 一是會(huì)吸附小顆粒造成麻點(diǎn),二是影響離子源水晶片等的工作。
Lod$&k@@ 所以有些電子槍還會(huì)加上一個(gè)二次電子抑制器,讓二次電子往地面跑。
tw.2h'D GarPnb 電子槍工作時(shí),如果有藥品飛濺進(jìn)電子槍燈絲附近,會(huì)被電子槍燈絲加熱蒸發(fā), 導(dǎo)致高壓處放電,這個(gè)放電過(guò)程其實(shí)很頻繁,所以一般電子槍還有一個(gè)滅弧電路。
lO482l_t 如果滅弧電路發(fā)生故障了,電子槍就很容易熄火。
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