ouyuu:懷疑是排氣能力差異。 hu6)GOZbv  
開鍍真空一樣嗎？都開充氧了嗎？充氧壓力多少？ (2018-02-02 09:16)  GVFD_;j'  

EMJ}tvL0Tp  
開鍍真空一樣，都是2E-3Pa，都開充氧了，目前最主要問題是穩(wěn)定性不好，有些Run次鍍出來是OK的，有些就不好，不知道是哪里造成的穩(wěn)定性差

dcfcwdx:[表情]單層的PEAK對(duì)比過，確實(shí)是有差異的，關(guān)鍵是怎樣調(diào)節(jié)折射率和吸收呢？ (2018-03-03 22:41)  ^8E/I]-  

%p^C,B{7w  
是什么差異呢？整體向上偏移？還是波峰更高，波谷更低？ IRXpk6|  
如果是吸收，那就改善充氧。 nhQ.U>&-M  
如果是折射率差異，那就改變蒸發(fā)速率。 H=7d
p%b"  

ouyuu:是什么差異呢？整體向上偏移？還是波峰更高，波谷更低？ &> }MoB  
如果是吸收，那就改善充氧。 =:o)+N
E  
如果是折射率差異，那就改變蒸發(fā)速率。 _ 4Hf?m7z  
 (2018-03-06 13:05)  XlDVJx<&J  

CDoZv""  
鍍TiO2單層來比較是，較差的機(jī)臺(tái)的波峰低，波谷高，也就是峰谷差小，還有，改善充氧就是改變APC壓力嗎？

dcfcwdx:鍍TiO2單層來比較是，較差的機(jī)臺(tái)的波峰低，波谷高，也就是峰谷差小，還有，改善充氧就是改變APC壓力嗎？ (2018-03-13 20:40)  tUz!]P2BUO  

U%w?muJW  
看起來像是折射率問題。 yd`.Rb&V  
你這邊用離子源輔助嗎？ +#'exgGU^[  
如果有，就改變一下離子源參數(shù) <Pg.N  
如果沒有，就改一下電子槍速率看看。

ouyuu:看起來像是折射率問題。 :|N5fkhN  
你這邊用離子源輔助嗎？ o D:
?fs]  
如果有，就改變一下離子源參數(shù) o!\Vk~Vi&  
如果沒有，就改一下電子槍速率看看。 (2018-03-15 23:35)  X;ijCZb3b  

a|lcOU  
既然是折射率差異，那就直接按照兩臺(tái)機(jī)各自的折射率重新設(shè)計(jì)一下膜系不就好了么；如果要變更速率，那折射率不也一樣跟著變了，變量不就多了么。

v#nYH?+~mJ  
機(jī)臺(tái)不一樣，折射率是有差異的，這個(gè)差異在鍍膜厚是就明顯

奔跑的小駿馬:既然是折射率差異，那就直接按照兩臺(tái)機(jī)各自的折射率重新設(shè)計(jì)一下膜系不就好了么；如果要變更速率，那折射率不也一樣跟著變了，變量不就多了么。 (2018-03-23 11:51)  [wj&.I{^s  

wFnI