性能說(shuō)明:
K#@FKv|(" Quartz晶體感應(yīng)片是至今為止制造的電氣產(chǎn)品中最敏感的產(chǎn)品。用于薄膜涂層時(shí)可以檢測(cè)到1微微米(1兆分之1)大小的范圍。這類(lèi)似于1原子厚度的涂膜層。同時(shí),晶體對(duì)熱很敏感,可以對(duì)1/100度以下的溫度變化作出反應(yīng)。并且,Quartz晶體感應(yīng)片在完成階段中對(duì)應(yīng)力反應(yīng)敏感,可以探測(cè)到原子的移動(dòng),這一原子的移動(dòng)是在典型的光學(xué)鍍膜作業(yè)中,鍍膜于晶體上的薄膜發(fā)生冷卻時(shí)發(fā)生。你也許會(huì)對(duì)像光學(xué)鏡片鍍膜一樣的大規(guī)模作業(yè)中用這種敏感的感應(yīng)片怎樣進(jìn)行作業(yè)產(chǎn)生疑問(wèn)。
v},sWjv 簡(jiǎn)單地說(shuō)可以勉強(qiáng)地進(jìn)行作業(yè)。除了GOLD及鋁或SILVER一樣應(yīng)力低的物質(zhì)以外,其他大部分的鍍膜工藝立即就能把感應(yīng)片毀壞。像MgF2那樣代表性的防止反射鍍膜工藝是用高溫(超過(guò)300度)和高的應(yīng)力(晶體上鍍膜的薄膜冷卻時(shí)發(fā)生)給感應(yīng)片雙重致命打擊。晶體暫時(shí)裸露在MgF2時(shí)可以看到在RATE或厚度上以陽(yáng)離子形式進(jìn)行不規(guī)則反應(yīng)的情況。像Zirconium或chromium一樣應(yīng)力高的金屬膜也是一樣的。
vCM'nkXY 注意事項(xiàng):
S8l+WF4q (1) 絕對(duì)不能觸摸感應(yīng)片的中間部位:因這一部位是活躍的震動(dòng)部位。任何油跡或灰塵及擦傷都能引起感應(yīng)片造成震動(dòng)能力下降。操作時(shí)要使用塑膠夾子夾住感應(yīng)片邊緣。
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