國內首條年產1000噸黑色光阻示范生產線建成
從北京化工大學、江蘇博硯電子科技有限公司聯(lián)合召開的國家重點研發(fā)與產業(yè)化項目推進會上獲悉,我國LCD制造用高端超純材料的關鍵技術取得重大突破,并已在宜興建成國內首條年產1000噸黑色光阻示范生產線。這意味著,長期受國外壟斷的微電子高端材料開始走向國產化,并為我國微電子及相關產業(yè)走出依賴“困境”起到了重要的引領作用。
微電子產業(yè)是我國國民經濟的支柱產業(yè),也是重點發(fā)展的戰(zhàn)略性新興產業(yè)。但是,在這個領域的核心技術、關鍵裝備與材料是我國產業(yè)的短腿,長期受到歐美、日本等國家和地區(qū)的壟斷與封鎖。江蘇博硯電子科技有限公司董事長宗健說:“有資料顯示,2017年我國進口芯片花費2072億美元。從材料來說,目前國內自我供給僅占總需求的10%左右。” 北京化工大學理學院院長聶俊介紹,該校主持承擔的“微電子加工用高端超純化學品”是國家重點研發(fā)與產業(yè)化項目,自去年啟動以來,通過產學研合作,突破了微電子加工用高端電子化學品超純化處理技術瓶頸,實現(xiàn)微電子加工用高感度光引發(fā)劑和弱堿顯影樹脂的結構設計及超純化規(guī)模制備,并將在國內建成超純三甲基鋁(7N級)、納米色漿、光阻材料生產線、建立光阻材料的性能評價平臺,實現(xiàn)從原材料至最終產品的自主配套。 |