近邊X射線吸收精細(xì)結(jié)構(gòu)（NEXAFS）譜包含了吸收原子的局域結(jié)構(gòu)信息，由于其適用范圍廣，靈敏度高，已經(jīng)成為研究物質(zhì)結(jié)構(gòu)的重要手段之一。為了研究有機(jī)物的碳1s NEXAFS譜，本文基于氣體激光等離子體X射線光源，采用具有平場(chǎng)特性的凹面變線距光柵作為分光元件，面陣CCD作為光譜探測(cè)器，設(shè)計(jì)了一臺(tái)小型掠入射式近邊X射線吸收譜儀。通過(guò)優(yōu)化光柵和CCD的裝配方案，得到了入射角88.6°的裝配參數(shù)。利用光線追跡法分析了譜儀的分辨率，該譜儀工作波段2~5 nm，在4.4 nm處分辨率可達(dá)666。通過(guò)分析各結(jié)構(gòu)參量誤差對(duì)譜線半高寬的影響發(fā)現(xiàn)，半高寬對(duì)入射角的誤差最為敏感，優(yōu)化的裝配方案可以實(shí)現(xiàn)入射角的高精度調(diào)節(jié)。利用氮?dú)獾入x子體光譜測(cè)試了光譜儀的性能，結(jié)果顯示分辨率達(dá)到設(shè)計(jì)指標(biāo)。
