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ouyuu:鎳的熔點很低的,最初的射頻源中和器陰極大多數(shù)采用鎳。 dli?/U@hO 現(xiàn)在隨著離子源能量的提高,原廠中和器陰極應(yīng)該是用的其他耐高溫金屬。 u