摘要： EAWBgOO8iC  
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集成光電子學(xué)是當(dāng)今光電子學(xué)領(lǐng)域的發(fā)展前沿之一，隨著光電子器件的發(fā)展與廣泛應(yīng)用，光電子集成也隨即發(fā)展起來(lái)。而光電子集成也是光子學(xué)發(fā)展的必由之路和高級(jí)階段。本論文將主要介紹光電集成器件、光電集成材料以及光電集成技術(shù)的發(fā)展現(xiàn)狀及其前景。 "8?Fl&=Q  
PC255  
關(guān)鍵詞：光電子器件、光電子集成（OEIC）技術(shù)、OEIC光發(fā)射機(jī)器件、OEIC光接收機(jī)器件、光中繼器件、GaAs光電子集成技術(shù)、InP光電子集成技術(shù)、硅基光電子集成技術(shù)。 e87a9ZPm  
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一、引言 pNQ7uy  
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集成光電子學(xué)是當(dāng)今光電子學(xué)領(lǐng)域的發(fā)展前沿之一，它主要研究集成在一個(gè)平面上的光電子學(xué)器件和光電子系統(tǒng)的理論、技術(shù)與應(yīng)用，是光子學(xué)發(fā)展的必由之路和高級(jí)階段。集成光電子學(xué)以半導(dǎo)體激光器等光電子元件為核心集成起來(lái)，并以具有一定功能的體系為標(biāo)志。目前，主要是研究和開發(fā)光通信、光傳感、光學(xué)信息處理和光子計(jì)算機(jī)所需的多功能、穩(wěn)定、可靠的光集成體系和光電子集成體系(OEIC: optical-electronic integrated circuit)；光學(xué)器件與電子器件集成在一起，則構(gòu)成復(fù)合光電子集成體系。光電子集成（OEIC）技術(shù)和光子集成技術(shù)是光電子技術(shù)的基礎(chǔ)，自從20世紀(jì)光電子集成的概念被提出以后，光電子集成技術(shù)的發(fā)展已經(jīng)取得了一系列重大的突破。隨著光電子集成器件的發(fā)展，其制造工藝不斷向著簡(jiǎn)約化、標(biāo)準(zhǔn)化、系列化和自動(dòng)化發(fā)展。集成光電子學(xué)的理論基礎(chǔ)是光學(xué)和光電子學(xué)，涉及波動(dòng)光學(xué)與信息光學(xué)、非線性光學(xué)和、半導(dǎo)體光電子學(xué)、晶體光學(xué)、薄膜光學(xué)、導(dǎo)波光學(xué)、耦合模與參量作用理論、薄膜光波導(dǎo)器件和體系等多方面的現(xiàn)代光學(xué)和光電子學(xué)內(nèi)容；其工藝基礎(chǔ)則主要是薄膜技術(shù)和微電子工藝技術(shù)。集成光電子學(xué)的應(yīng)用領(lǐng)域非常廣泛，除了光纖通信、光纖傳感技術(shù)、光學(xué)信息處理、光計(jì)算機(jī)與光存儲(chǔ)等之外，還在向其他領(lǐng)域，如材料科學(xué)研究、光學(xué)儀器、光譜研究等方面滲透。 [%6
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