摘要：垂直腔面發(fā)射激光器因其具有低閾值、低功耗、可實現(xiàn)高速調(diào)制等優(yōu)勢，廣泛地應(yīng)用于光通信和光互連等領(lǐng)域。寄生電容是影響激光器的調(diào)制帶寬的主要因素之一。本文通過采用低k值的苯并環(huán)丁烯（BCB）平整技術(shù)有效地降低了垂直腔面發(fā)射激光器的寄生電容。詳細(xì)研究了BCB平整技術(shù)的最優(yōu)工藝參數(shù)，為未來高速垂直腔面發(fā)射激光器的制造技術(shù)提供參考。低k值BCB平整垂直腔面發(fā)射激光器在7 μm氧化孔徑下3 dB小信號調(diào)制帶寬可達(dá)15.2 GHz。