在茫茫宇宙中，一個(gè)類金屬合金宇宙探測(cè)器以超光速掠過，它由被強(qiáng)互作用力鎖死的質(zhì)子與中子構(gòu)成，因表面絕對(duì)光滑而可以反射一切電磁波，并且無堅(jiān)不摧……這是劉慈欣在科幻小說《三體》中提到的一種名叫“水滴”的宇宙飛行器。 0~iC#lHO  
jr|(K*;  
　　事實(shí)上，人類對(duì)“絕對(duì)光滑”的追求也已經(jīng)從科學(xué)幻想轉(zhuǎn)變?yōu)閷?shí)踐，比如推動(dòng)“集成電路變身革命”的超精密拋光技術(shù)。像《三體》中描述的一樣，當(dāng)前最為先進(jìn)的化學(xué)機(jī)械拋光（chemical mechanical polishing，CMP）技術(shù)也已進(jìn)入原子尺寸級(jí)。而當(dāng)電子工業(yè)強(qiáng)國爭(zhēng)相攀登或到達(dá)這一工藝巔峰之時(shí)，我們卻還只能仰望。 w4Qqo(  
v~H1Il_+  
　　現(xiàn)代電子工業(yè)，超精密拋光是靈魂 %[u6<  
'
Ph  
　　物理拋光是上世紀(jì)80年代之前最為常用的拋光技術(shù)，但是電子工業(yè)的高速發(fā)展對(duì)材料器件的尺寸、平整度提出越來越嚴(yán)苛的要求。當(dāng)一塊毫米厚度的基片需要被制成幾十萬層的集成電路時(shí)，傳統(tǒng)老舊的拋光工藝已經(jīng)遠(yuǎn)遠(yuǎn)不能達(dá)到要求。 yM}}mypS  
GbFLu`I