ouyuu:新柯隆的一些實(shí)驗(yàn)設(shè)備上，已經(jīng)不用水晶片控制蒸發(fā)速率了。 @|-ydm0  
直接用光控來(lái)控制……但是某些時(shí)段的穩(wěn)定性還是不如晶控。 3XL0Pm  
 (2018-08-07 22:27)  R0. `2=  

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光控從原理上是可以算出沉積速率的，我測(cè)試過(guò)也正在努力。 kZz;l(?0  
蒸發(fā)機(jī)，光控控制沉積速率，暫時(shí)不會(huì)滿(mǎn)意的。 E8%O+x}  
有的鍍膜機(jī)器是把晶控裝在機(jī)箱里，沒(méi)有放在外面。 K\?vTgc(  

morningtech:光控從原理上是可以算出沉積速率的，我測(cè)試過(guò)也正在努力。 kP[ Y  
蒸發(fā)機(jī)，光控控制沉積速率，暫時(shí)不會(huì)滿(mǎn)意的。 ky!'.3yoI  
有的鍍膜機(jī)器是把晶控裝在機(jī)箱里，沒(méi)有放在外面。 t5 5k#`Z  
 (2018-08-08 12:13)  56TUh_  

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現(xiàn)在的光控都是單個(gè)波長(zhǎng)進(jìn)行控制，所以在PEAK附近沉積速率控制會(huì)有問(wèn)題。 
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如果再增加一個(gè)參考波長(zhǎng)，PEAK其實(shí)是可以避開(kāi)的。 {0Leua  
現(xiàn)在我覺(jué)得光控最大的問(wèn)題是那些薄的膜層。

ouyuu:SHOWA用的是不是是ULVAC的水晶儀？ULVAC的有些水晶儀存在軟件問(wèn)題。 W~