人類在掌握電磁波技術(shù)的50年以后，發(fā)展出了無線電雷達技術(shù)。在隨后的20年中，由于激光和光電子技術(shù)的快速發(fā)展，人們能夠把激光這個特殊的電磁波應(yīng)用于雷達，發(fā)展成為激光雷達。 t|jX%s=  
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激光雷達在方向性、穩(wěn)定性、分辨率和探測距離等諸多方面都有了巨大進步，現(xiàn)已廣泛地進入民生領(lǐng)域，尤其是智能網(wǎng)聯(lián)車、智能機器人、自動導(dǎo)引車、虛擬現(xiàn)實、增強現(xiàn)實等等，市場非常廣闊。 z
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傳統(tǒng)的激光雷達由數(shù)目龐大的光學(xué)器件組成，體積大、成本高、價格昂貴。隨著硅基光電子集成技術(shù)的迅猛發(fā)展，硅基光子學(xué)技術(shù)已被廣泛研究，在一個芯片上可以集成成千上萬個光電子器件，此技術(shù)適用于制作激光雷達的光發(fā)射模塊，稱為光控相控陣。 9[N+x2q  
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利用硅基光電子集成技術(shù)制作的光控相控陣芯片，工作在光通信波段，相比傳統(tǒng)的工作在可見光波段和近紅外波段的器件來說，此工作波段對人眼更安全，有利于激光雷達產(chǎn)品進入民生領(lǐng)域。同時由于硅基光電子技術(shù)與集成電路技術(shù)完全兼容，可在單片上同時集成光束掃描器件和控制集成電路，有利于實現(xiàn)智能化控制和神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)集成等。 u.YPb@  
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如今，車載激光雷達的主流仍然是機械式激光雷達，但它終究難以滿足自動駕駛普及提出的大規(guī)模、低成本、車規(guī)級需求。因此，固態(tài)激光雷達成為了車載激光雷達的下一個發(fā)展形態(tài)，其中的關(guān)鍵技術(shù)光控相控陣技術(shù)將得到大力發(fā)展。

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硅基光電子集成技術(shù)制作的光控相控陣芯片