摘要:為了精確分析外載荷作用下米級(jí)口徑經(jīng)緯儀保護(hù)窗口鏡面變形,本文基于接觸有限元理論建立了米級(jí)口徑經(jīng)緯儀保護(hù)窗口帶摩擦接觸的有限元分析模型,對(duì)比了線性剛性連接和非線性摩擦接觸方法的差異。采用齊次坐標(biāo)變換法去除剛體位移,得到米級(jí)口徑經(jīng)緯儀保護(hù)窗口鏡面畸變數(shù)據(jù),使用Zernike多項(xiàng)式作為光機(jī)集成分析的接口工具,并將Zernike多項(xiàng)式系數(shù)導(dǎo)入ZEMAX中,以波前像差RMS值衡量鏡面變形對(duì)成像質(zhì)量的影響,并與干涉儀檢測(cè)結(jié)果進(jìn)行比較?紤]摩擦接觸條件得到的保護(hù)窗口鏡面波前像差RMS值為38.095 nm、PV為205.027 nm,使用干涉儀檢測(cè)得到的保護(hù)窗口鏡面波前像差RMS值為40.626 nm、PV值為235.654 nm。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,考慮摩擦接觸條件的仿真實(shí)驗(yàn)與干涉儀檢測(cè)實(shí)驗(yàn)的鏡面波前像差RMS值偏差為6.23%,能更準(zhǔn)確地反映米級(jí)口徑保護(hù)窗口鏡面變形。 k^S=i_ U
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關(guān)鍵詞 : 經(jīng)緯儀, 有限元理論, 齊次坐標(biāo)變換, Zernike多項(xiàng)式