隨著非球面的廣泛應(yīng)用，非球面的檢測也顯得尤為重要。本文針對多種類型的非球面鏡開展其檢測方法的研究，如離軸凸拋物面，離軸凹拋物面，離軸凸雙曲面，離軸凹雙曲面，離軸凸橢球面，離軸凹橢球面。主要通過無像差點(diǎn)檢驗(yàn)和補(bǔ)償法檢驗(yàn)對不同的類型的非球面的檢測方法進(jìn)行研究，并使檢測方案滿足目前采用的ZYGO干涉檢測或4D干涉檢測。