薄膜對(duì)光有反射，透過(guò)，吸收，散射等作用。 oT&JQ,i[2Q
薄膜發(fā)霧（對(duì)于因?yàn)榛灞旧砼K或者帶電吸附粉塵等問(wèn)題此處略過(guò)）一般是因?yàn)樯⑸洹?span style="display:none"> _3tHzDSG#
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散射一般分為：瑞利散射，米氏散射，幾何光學(xué)近似 &/=>:ay+#
散射發(fā)生的位置一般分為：表面（和空氣接觸面），界面（層與層的過(guò)渡面），粒子（結(jié)晶） RGhl` ;
表面和界面發(fā)生的散射一般是因?yàn)檎婵斩冗^(guò)低造成的，適當(dāng)提高真空度可以改善。 ~j 3B'
界面的散射還可以提高離子源能量（用離子源將表面打平）來(lái)改善。 shxr^
結(jié)晶造成的散射，則需要靠改變溫度來(lái)調(diào)整結(jié)晶大小。 +,7 dj:0S
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具體問(wèn)題具體分析，這個(gè)需要自己來(lái)判斷。其實(shí)解決問(wèn)題的過(guò)程，也是自我學(xué)習(xí)自我提高的過(guò)程。
