摘要：光學(xué)自由曲面元件如離軸非球面等在現(xiàn)代光學(xué)系統(tǒng)中起到了越來越重要的作用。計(jì)算全息元件(CGH)可產(chǎn) 生任意形狀的波前，能夠很好地應(yīng)用在光學(xué)自由曲面的零位補(bǔ)償干涉測(cè)量中。針對(duì)一離軸橢球面為測(cè)量樣品，以 光學(xué)計(jì)量領(lǐng)域比較成熟的 Offner 補(bǔ)償器法，測(cè)量離軸非球面母鏡的面形偏差，進(jìn)而獲得離軸橢球面的面形偏差；再 將離軸橢球面通過旋轉(zhuǎn)平移，作為自由曲面元件，在平面基板上設(shè)計(jì) CGH 對(duì)其進(jìn)行零位補(bǔ)償測(cè)量，研究零位補(bǔ)償 CGH 的誤差傳遞數(shù)據(jù)。通過主要原理誤差分析與計(jì)算，在光學(xué)熔石英平面基底上制作零位補(bǔ)償 CGH，測(cè)量不確定 度達(dá)到λ/10[峰谷(PV)值, λ=0 .6328 μm]，滿足光學(xué)自由曲面元件的高精度檢測(cè)要求。 /!&eP3^
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關(guān)鍵詞：測(cè)量；計(jì)算全息；光學(xué)自由曲面；離軸非球面；Offner 補(bǔ)償器
