加速度傳感器:高鐵敏感器件國(guó)貨難覓
加速度傳感器負(fù)責(zé)對(duì)動(dòng)車(chē)組的失穩(wěn)、車(chē)廂舒適度和走行部件健康狀態(tài)進(jìn)行檢測(cè),廣泛應(yīng)用于軌道交通系統(tǒng)。“要保證動(dòng)車(chē)組高速平穩(wěn)行駛,首先要由加速度傳感器對(duì)來(lái)自X(軸)、Y(徑)和Z(垂)向的應(yīng)力進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè),并將電信號(hào)傳輸給列車(chē)指揮系統(tǒng)!北本┙煌ù髮W(xué)教授秦勇告訴科技日?qǐng)?bào)記者,加速度敏感器件負(fù)責(zé)完成電信號(hào)的傳輸,是高端加速度傳感器中的核心部件。 記者在采訪中了解到,由于我國(guó)傳感器產(chǎn)業(yè)長(zhǎng)期處于產(chǎn)業(yè)鏈中下游,加速度敏感器件進(jìn)口率達(dá)80%以上。 最小長(zhǎng)度為頭發(fā)絲直徑的1/50 加速度敏感器件屬高端芯片,多采用MEMS工藝制造。 MEMS是一門(mén)綜合學(xué)科,涵蓋微尺度下的力、電、光、磁、聲、原子、表面等物理學(xué)的各分支,乃至化學(xué)、生物、醫(yī)學(xué)和儀器等各領(lǐng)域,學(xué)科交叉很強(qiáng),研究難度很大。 |