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[分享]平滑結構邊緣的模塊編程 [復制鏈接]

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助理工程師

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2019-01-15

摘要

通常，計算模型中假設的理想化結果明顯偏離現(xiàn)實。其中一個例子是在蝕刻結構中具有尖銳邊界的微結構的設計：制造技術不能實現(xiàn)完美的銳利壁，而是產(chǎn)生更圓的邊緣。該可編程模塊應用于所設計結構的銳利結果，根據(jù)用戶指定的值對其邊緣進行圓整，以便分析更真實的結構。