你現(xiàn)在使用的電腦有一個(gè)中央處理器，它的晶圓片是用一個(gè)非常復(fù)雜的鏡頭曝光加工而來(lái)的。這類鏡頭可能含有20或30個(gè)以上的鏡片組成，是世界上最精細(xì)的鏡頭。如果你想更好的學(xué)習(xí)光學(xué)設(shè)計(jì)，這將是一個(gè)好的學(xué)習(xí)例子。本課將給出一個(gè)學(xué)習(xí)例子。

鏡片數(shù)22片

物高31mm

物方數(shù)值孔徑NA 0.2

波長(zhǎng)為UV

像方晶圓尺寸是12.66mm

總長(zhǎng)小于1200mm

這種透鏡在物體和圖像上都是有限共軛的，最好分兩步設(shè)計(jì)。首先，我們將為左半部分設(shè)計(jì)一個(gè)鏡片組，可以讓光束經(jīng)過(guò)遮光罩，光束到中心后被準(zhǔn)直。然后我們將為右半部分設(shè)計(jì)第二個(gè)鏡片組，將準(zhǔn)直光束成像到晶圓片上。

首先，我們將使用DSEARCH為左半部分設(shè)計(jì)出11個(gè)鏡片的鏡頭，輸入的命令如下：

      Here is the input for DSEARCH:

      CORE 14 TIME

      DSEARCH 2 QUIET

      SYSTEM

      ID DSEARCH LEFT UNI MM

      OBA 15 31 3 31

      OSNA .2 TCO

      WAVL .354732 .354712 .354692 AFOC

      END

      GOALS ELEM 11

      TOTL 600 .1

      TOPD .01

      NPASS 50

      QUICK 20 50

      ANNEAL 50 10 Q

      SNAP 10

      RSTART 1000

      ASTART 25

      THSTART 12

      FOV 0 .5 .707 1

      FWT 1 1 1 1 END

      SPECIAL PANT

      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55

      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67

      CUL 1.6

      FUL 1.6 END

      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1

      M 0 .1 A SAP

      M 0 .1 A P YA 1 0 0 0 LB1 END

      GO TIME

返回一個(gè)非常好的初始結(jié)構(gòu)，我們將它保存。

使用命令為：

     SAVE LEFT11.

     SAVE LEFT11.

現(xiàn)在激活A(yù)CON 2，我們使用DSEARCH來(lái)設(shè)計(jì)右半邊的鏡片組，輸入命令如下：

      CORE 14 TIME

      DSEARCH 3 QUIET

      SYSTEM

      ID DSEARCH RIGHT UNI MM

      OBB 0 4 83.36

      WAVL .354732 .354712 .354692 END

      GOALS ELEM 11

      TOTL 600 .01

      FNUM 1

      BACK 11 SET

      TOPD .01 STOP FIRST STOP FIXED NPASS 50

      QUICK 20 50

      ANNEAL 50 10 Q

      SNAP 10

      RSTART 1000

      ASTART 25

      THSTART 12

      FOV 0 .5 .707 1

      FWT 1 1 1 1 END

      SPECIAL PANT

      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55

      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67

      CUL 1.6

      FUL 1.6 END

      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1

      M 0 1 A P HH 1

      M 0 10 A P YA 1 S GIHT

      M 0 10 A DI3 END

      GO TIME

結(jié)果很好，我們保存了這個(gè)鏡頭，使用命令：

      SAVE RIGHT11.

      SAVE RIGHT11.

現(xiàn)在把這兩部分合并起來(lái)。再次激活A(yù)CON 1，并輸入：

      COMBINE 23

      RIGHT11

現(xiàn)在它們被合并成了一個(gè)鏡頭。

現(xiàn)在它們被合并成了一個(gè)鏡頭。

現(xiàn)在打開由DSEARCH為右半部分鏡片組準(zhǔn)備的優(yōu)化宏，修改TOTL的設(shè)置，指定1200mm長(zhǎng)度的上限(LLL 1200 .01 1 A TOTL)。還為后焦添加一個(gè)控制目標(biāo)，現(xiàn)在由solve控制。(M 11 .1 A BACK)。然后運(yùn)行宏并模擬退火(33,2,50)。鏡頭得到了改進(jìn)。

我們有了一個(gè)非常好的微光刻鏡頭。

很高興您選擇SYNOPSYS來(lái)設(shè)計(jì)您的鏡頭，它可以快速的做出非常好的設(shè)計(jì)。