光學(xué)小菜雞:磁控濺射鍍膜資料
(2021-10-15 21:12)
;L.@4b[lP
ye1kI~LO( 磁控濺射的資料真沒有。
U@v=q9'W 這東西就是個大號離子源,用離子源轟擊靶材,然后靶材濺出到基板表面堆積成薄膜。
x0wy3+GZc gio'_X 有兩種磁控濺射,一種是直接濺射成薄膜,一種是先濺射單質(zhì),然后氧化或者氮化形成薄膜。
cF_hU" -fu=RR 磁控濺射比蒸發(fā)鍍膜,一個是轟擊用的“子彈”不一樣,氬的重量是電子的幾個數(shù)量級,
}?xu/C 所以轟擊出來的顆粒初速度要比蒸發(fā)出來的高非常多,堆積的致密性也要高很多。
zm rQ7(y 所以磁控濺射可以不考慮方向性(基板豎著橫著都可以),不用加熱,鍍膜速率高。
q:.URl Hk%m`|Z 但是磁控濺射的控制很麻煩,蒸發(fā)鍍膜普遍使用的水晶,光控都不太好做進去。
ou6|;*>d 一般用時間來控制