摘要 2%5^Fi  
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因為傾斜光柵在特定衍射級中具有高效率，故通常被用于將光耦合到光學光波導中。 如今，它們經(jīng)常應用于增強和混合現(xiàn)實應用中。 本案將展示如何使用VirtualLab Fusion對文獻中的某些傾斜光柵的幾何形狀，具體參數(shù)如傾斜角度，填充因子和調(diào)制深度進行分析。 此外，本案例還研究了不同入射角對衍射效率的影響。 T3G/v)ufd  
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建模任務 i9&K  
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衍射效率與相對深度 Y|m_qB^_  
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在VirtualLab Fusion中通過傅里葉模態(tài)法（FMM）（也稱為RCWA）進行仿真。 Q$?7)