Design Tool中,EdgeFilter的
功能是可以用來幫助設計邊緣濾波器的
結構。一個簡單的邊緣濾波器是基于四分之一堆棧的,在基板和入射介質旁邊的幾個匹配層可以用來抑制通帶波紋。當傾斜時,高反射率區(qū)的寬度對S偏振光有增大的趨勢,對P偏振光有減小的趨勢,導致
偏振分離。四分之一
波長堆棧不容易得到顯著改善,但是Thelen 已經表明五層對稱周期是可以作為邊緣濾波器的基礎的,其中p和s偏振邊緣可以重合。嚴格來說,這只是在一個入射角,但經驗表明,在一定
角度范圍內分裂非常小。邊緣濾波器工具可以找到這樣一個對稱的周期,并設計一個非偏振邊緣濾波器。該工具使用迭代技術來識別所有可能的組合,并找到通帶寬度和禁帶寬度的最佳組合,但是后者受到一定限制。
%Y&48''" a&'9[9E1 圖1顯示了
參數對話框。設置了兩種
材料的五層周期,入射角,入射介質和周期數。該工具沒有解決紋波問題,如圖2所示。在這里,用SiO2當最外層最好。最后一步是鎖定所有層,然后對一些最外層進行
優(yōu)化以減少波紋。在這種特殊情況下,每側的12個層都經過了優(yōu)化,以得到圖3中的性能。
-DkD*64wu
y-hTTd"{ h`6 (Oo| 圖1.參數對話框,幾乎沒有必要更改搜索限制或搜索間隔
JvO1tA]ij m}l);P^ 圖2.紋波消除前45°入射的原始結果
Wep^He\: Kg6J:HD49 圖3.45°入射時最終的169層設計
&@lfr623 該工具的另一個功能是將公式插入到了編輯菜單的Formula對話框中,這樣就不必返回到Edge Filter對話框來更改重復次數。
Cfi4~