摘要
sDzlNMr?P+ OVgx2_F 白光
干涉測(cè)量法是一種非接觸式技術(shù),用于精確測(cè)量,例如表面輪廓和微小位移。使用邁克爾遜
干涉儀設(shè)置和氙燈
光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉測(cè)量?紤]到光源的
光譜特性,即有限的相干長(zhǎng)度,結(jié)果顯示僅當(dāng)兩個(gè)臂的路徑長(zhǎng)度幾乎相同時(shí)才出現(xiàn)干涉圖案。
(n3MbVi3LU B$@fE} h,%b>JFo 1. 建模任務(wù)
~k[q:$T L>Soj|WUy( 2. 干涉條紋的變化
;^Hg\a -P'KpX:]hd dpWBY3(7a 3. VirtualLab Fusion概覽
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