在各種光學千涉應用和集成光學平面波導中,要求高質量的介質膜。很多無機化合物膜用普通鍍膜方法沉積很難達到要求的附著力、密度、硬度和低成本等條件�，F在正在研究用反應氣體放電等離子體和荷能離子鍍膜材料原子處理等方法對無機化合物膜進行綜合研究。 0X}w[^f
在光學多層膜中，介質膜很重要，因此,在光學鍍膜領域主要研究和制備用于各種濾光片、反射鏡和光波導的最佳化學配比、低吸收和高穩(wěn)定性光學膜的方法。已經研究一種特殊的反應沉積技術，改進了化學合成膜的光學和機械性質。本文主要闡述荷能離子和等離子體鍍膜技術的進展。
