由于光譜儀的尺寸限制,微型光譜儀在滿足一定光譜范圍時,其分辨力往往難以小于0.1 nm。而一些特殊應用場合要求光譜儀不僅具有微小的尺寸,還要求具有極高的光譜分辨力。本文基于Zemax光學設計軟件,通過選擇合適的初始結構參數與評價函數,自動優(yōu)化準直鏡、聚焦鏡、柱透鏡、光柵,以及CCD間傾角和距離,設計出光譜分辨力高達0.05 nm,尺寸為90 mm×130 mm×40 mm的Czerny-Turner結構微型光譜儀。在此基礎上優(yōu)化出8個光柵傾斜角度,使微型光譜儀光譜分辨力在優(yōu)于0.05 nm的同時,波段范圍達到了820 nm~980 nm。所設計的光譜儀具有超高的光譜分辨力、微小的外形尺寸與適中的光譜范圍等特點。